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復合離子鍍硬質涂層關鍵技術及其應用
2023-03-27 11:48:17 來源:廣東工業大學
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1、主要技術發明

本技術在國家自然科學基金等多項國家、省部級項目的支持下,圍繞復合離子鍍技術、高端硬質涂層設計、綠色制備與應用開展關鍵共性技術研究,發明了復合離子鍍硬質涂層技術及裝備,實現彎道超越,獲得性能優于傳統PVD的硬質防護涂層,解決了我國缺少高端鍍膜裝備和先進硬質涂層精細化設計的難題。主要技術發明有:

1)技術發明一、發明了復合離子鍍硬質涂層技術。發明了多離化源耦合增強的復合離子鍍裝備與技術,率先構建PVD薄膜沉積等離子體探測系統,研究了各種沉積源粒子束流的等離子體特性,建立了沉積等離子體性質與涂層結構及性能之間的關聯;發明了積等離子體特性-涂層結構、性能聯控技術;發明了采用氣體離子和高功率脈沖濺射高能離子轟擊復合轟擊清洗改善涂層結合力、梯度和復合涂層成分設計改善涂層性能的新方法;發明了耦合納米多層和納米復合結構的多元多層刀具涂層,并取得良好切削應用效果。

2)技術發明二、發明了復合離子鍍制備硬質氮化物涂層的新技術。發明了納米多層結構抑制涂層軟質相生成的新方法,構建了共格層間界面的能量模型,發明了軟質相與硬質相外延生長的新方法,實現涂層綜合性能的協同提升;發明了電弧-濺射復合沉積降低氮化物涂層內應力、實現涂層性能精細調控的新方法;開發出系列多元多層氮化物刀具涂層并取得應用。

3)技術發明3、復合離子鍍制備復合碳基薄膜新技術。發明多源復合涂層技術制備低應力、低摩擦、高耐蝕碳基薄膜的新方法;發明了高功率脈沖濺射-電弧復合技術制備碳膜,解決了高硬度和低摩擦系數的矛盾。相關產品已通過軍工企業認可,成功應用于航空件,如直升飛機轉向液壓桿曲柄、折疊翼飛機折疊機構閥門等,大幅提高了相關裝備的快速應激能力及服役壽命,促進了我國的強軍及國防建設。

2、應用領域及效果

經濟效益:基于復合離子鍍硬質涂層關鍵技術,本技術所研制相關涂層刀具產品已在深圳科匯納米技術有限公司、東莞凌杰精密工具有限公司、株洲歐科億數控精密刀具有限公司、深圳粵??萍加邢薰?、寧波江北瑞斯特刀具有限公司、株洲華銳精密工具有限公司、浙江力鋒精密工具有限公司、自貢希力數控工具有限公司、東莞鳳嵐中機融耀數控工具廠等企業應用,相關涂層刀具產品達到國際先進水平,共計累計新增銷售額7.61億元及新增利潤1.51億元,取得了良好的應用成果與社會經濟效益。

社會效益:本技術成果支撐了國產PVD涂層刀具的理論創新和批量化生產,為難加工零件制造提供了保證;培養博士后4人、博士4名、碩士32名、社會技術人才100余名;擴大了涂層刀具應用范圍,促進了高速干式切削等綠色制造技術發展,保護了環境,符合我國未來制造業的發展趨勢;擴大了我國涂層刀具的應用范圍,增強了行業對涂層刀具高質制造、高效切削性能的認識。掌握了世界先進技術,縮小了與發達國家的技術差距,促進行業發展,提高了綜合國力。

3、成果支撐(專利、獲獎等)

本技術圍繞國內高端制造業對物理氣相沉積硬質涂層及裝備的應用需求,從涂層材料及工藝設計到制備涂層的裝備開發,開展集成技術系統研究。目前已發表SCI論文40余篇,論文總被引兩千多次,取得了良好的學術價值;已授權中國發明專利30項、授權國際專利1項;主導制定了3項國際標準,其中1項已頒布,2項已通過技術委員會投票;獲得廣東省技術發明獎1項、國防技術發明獎1項,行業協會科技進步獎2項;知識產權已成功在企業生產中實現成果轉化,在電子制造精密刀具骨干企業和航空骨干企業獲得應用,已累計實現直接經濟效益7.95億元,擺脫了對國外產品和技術的嚴重依賴,推動了我國裝備制造業等相關領域技術進步。
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